繼SK海力士日前宣布在M14和建設中的M16工廠均引入EUV光刻機后，三星也坐不住了，
按照三星的說法，自2014年以來，EUV光刻參與的晶圓超過了400萬片，公司積累了豐富的經驗，也比其它廠商掌握更多訣竅，領先對手1到2年。
據悉，三星的1z nm DRAM第三代內存已經用上了一層EUV，第四代1a nm將增加到4層。EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，并提高性能。
盡管SK海力士、美光等也在嘗試EUV，但層數過少對效率提升并不明顯，也就是單位成本高，畢竟EUV光刻機買一臺要10億元。三星這方面倒是有優勢，因為自己還有晶圓廠，“東方不亮西方亮”光刻機的利用率很高。
