9月17日，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科“）于科創板成功過會，
公開資料顯示，華卓精科為大陸首家、世界唯二可自主研發并實現商業化生產的光刻機雙工件臺供應商，其已進入大陸光刻機廠商上海微電子的供應鏈。公司主要產品包括精密運動系統、晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤等。
值得一提的是，聯席主承銷商中金公司是華卓精科的第八大股東，持股比例為3.06%。2019年3月，國家大基金一期子基金上海半導體裝備材料基金出資4200萬元參與了華卓精科的增資，現持有其2.08%的股權，
國盛證券鄭震湘等人7月19日發布的研報指出，光刻機市場一直以來在全球設備市場中的比重都較高，具有較高技術難度，并且單臺設備價值量也較高，屬于半導體制造設備的“皇冠”，
2020年，全球光刻機市場約135億美元，占全球半導體制造設備市場21%，其中ASML主導全球光刻機市場，大陸方面，上海微電子布局前道光刻機設備，2018年公司90nm光刻機項目通過正式驗收，
從光刻機格局來看，2020年ASML占據全球光刻機市場84%的市場空間，Nikon約7%，Canon約 5%，ASML具有高度的壟斷地位，并且由于EUV跨越式的升級進步，ASML在技術上的領先性更加明顯。
公開資料顯示，大陸研制光刻機整機的廠商為數不多，主要是上海微電子，大陸電科旗下的電科裝備也有布局，
今日下午最新消息，據上海微電子裝備集團官方公眾號，昨日，上微舉行新產品發布會，宣布推出新一代大視場高分辨率先進封裝光刻機，目前，上微已與多家客戶達成新一代先進封裝光刻機銷售協議，首臺將于年內交付，
西南證券研報梳理光刻機產業鏈各環節，具體如下：
方正證券研報梳理大陸光刻機產業鏈，具體如下：
另據財聯社不完全統計梳理，A股光刻機概念股名單具體有萬業企業、華特氣體、藍英裝備、勝利精密、張江高科、奧普光電、晶方科技和大族激光，
