10月20日晚間消息，ASML（荷蘭阿斯麥）發布了2021年三季度財報，
數據層面，凈銷售額52億歐元（約合386億元），毛利率51.7%，凈利潤17億歐元（約合126億元），官方預計四季度銷售額49億到52億歐元，毛利率在51%到52%。
環比之下，凈銷售額增加67.6%、凈利潤增加30.4%。
ASML稱，三季度，EUV光刻機系統的訂單量達到了29億歐元，且當季的出貨量和收入創下歷史新高。目前，ASML主力EUV光刻機是TWINSCAN NXE:3600D，其在客戶那里也達到了每小時加工160片晶圓的創紀錄效率。
DUV（深紫外）光刻機方面，完成出貨1000臺ArF（氟化氬浸沒式光刻系統），這距離第一臺浸沒式光刻機（XT:1700Fi）出貨過去了15年。
