3nm、5nm關鍵技術:大陸專家搞定GAA晶體管

來自復旦大學部微電子學院的消息,該校周鵬團隊針對具有重大需求的3-5納米節點晶體管技術,驗證了雙層溝道厚度分別為0.6 /1.2納米的圍柵多橋溝道晶體管(GAA,Gate All Around),實現了高驅動電流和低泄漏電流的融合統一,為高性能低功耗電子器件的發展提供了新的技術途徑,

據悉,相關成果已經在第66屆IEDM國際電子器件大會上在線發表。

報道提到,工藝制程提升到5nm節點以下后,傳統晶體管微縮提升性能難以為繼,需要做重大革新。于是GAA晶體管乘勢而起,它可實現更好的柵控能力和漏電控制。

此番周鵬團隊設計并制備出超薄圍柵雙橋溝道晶體管,驅動電流與普通MoS2晶體管相比提升超過400%,室溫下可達到理想的亞閾值擺幅(60mV/dec),漏電流降低了兩個數量級。

據悉,GAA晶體管也被譯作“環繞柵極晶體管”,取代的是華人教授胡正明團隊研制的FinFET(鰭式場效應晶體管)。按照目前掌握的資料,三星打算從2022年投產的第一代3nm就引入GAA晶體管,臺積電略保守,3nm仍是FinFET,2nm開始啟用GAA,

另外,中芯國際梁孟松日前也披露,該公司的5nm和3nm的最關鍵、也是最艱巨的8大項技術也已經有序展開, 只待EUV光刻機的到來,就可以進入全面開發階段。


雙橋溝道晶體管示意圖及其性能圖

0 条回复 A文章作者 M管理員
    暫無討論,說說你的看法吧