3月3日晚，中芯國際發表公告稱，公司與ASML阿斯麥公司簽訂購買協議，根據阿斯麥購買單購買的阿斯麥產品定價，阿斯麥購買單的總代價為12億美元（約合人民幣78億元），
公告披露，2021年2月1日，中芯國際與阿斯麥上海簽訂了經修訂和重述的阿斯麥批量采購協議。據此，阿斯麥批量采購協議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日，
ASML是全球最重要的光刻機生產商，中芯國際并沒有透露簽訂的協議具體內容，不過12億美元的總價值不低，最貴的EUV光刻機也就是1.2億美元，所以這次簽訂的協議供應量差不多是10臺以上，
來自證券時報的消息稱，記者從業內資深人士處了解到，除了EUV光刻機，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機，包括DUV（深紫外）光刻機，
此前，ASML的CFO在財報會議的視訊采訪中表示：如果寬泛地理解相關規則對AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向大陸客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統，ASML則需要為此申請出口許可證。
