荷蘭ASML(阿斯麥)是全球唯一的EUV光刻機制造商,中芯國際的7nm工藝雖然已經技術開發完成,但目前卡脖子的最關鍵一環就是買不到EUV。
在最新的媒體交流活動中,ASML技術開發副總裁Tony Yen披露了一些EUV光刻機不為人知的細節。
EUV即極紫外光刻,它是借助13.5nm波長極紫外光在硅晶圓上蝕刻數十億規模的微縮結構,
按照Yen的說法,當前ASML的EUV光刻機單臺售價1.2億美元(約合7.8億元)左右,由超過10萬個精密零部件組成。
Yen笑著表示,買我們的EUV光刻機可不是今天下單,兩天內送達,通常需要兩年的時間才能配送到貨,發運是需要多達40個集裝箱。
據悉,世界上第一臺EUV光刻機2010年在三星裝配,第二臺2011年進駐臺積電。談及摩爾定律,ASML認為至少還能延續10年。