美國議員要求升級對中芯國際制裁:DUV光刻機也不能給

在美國政府松綁對中芯國際成熟制程的采購禁令,部分美國設備供應商成功獲得許可,開始恢復對中芯國際的供應之后,美國當地時間3月19日,共和黨兩名重量級議員要求拜登政府升級對中芯國際制裁,以確保中芯國際無法獲取關鍵的半導體制造設備,

據《美國之音》報導,美國共和黨眾議員麥考爾(Michael McCaul)和魯比歐(Marco Rubio)已于當地時間周五聯和致信美國商務部長雷蒙多(Gina Raimondo)稱,基于中芯國際協助大陸追求“取代美國在全球的領先地位”方面發揮的作用,為保護美國的國家安全利益,要求禁止可能支持中芯國際生產半導體的貨物轉讓。

根據報導引述該信函中的內容指出,這兩位共和黨眾議員要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止ASML出售深紫外線(DUV)光刻機賣給中芯國際,并且還須與盟國達成協議,統一出口限制和許可權,限制類似深紫外線和極紫外(EUV)光刻等技術設備的出售,

值得注意的是,早在2018年,中芯國際就曾向ASML訂購了一臺可以用于7nm以下制程芯片生產的EUV光刻機,但是由于美國方面的阻撓,荷蘭政府一直未向ASML發放出口許可,導致這臺EUV光刻機至今仍無法向中芯國際交付,

此外,去年12月18日晚間,美國商務部又以保護美國國家安全和外交利益為由,宣布將中芯國際及其部分子公司及參股公司列入“實體清單”,這也使得美國廠商要想供貨中芯國際,必須要取得美國商務部的許可證,并且,美國商務部有特別指出,對于10nm及以下先進工藝所需的物品都會直接拒絕,

不過在3月1日,業內傳出消息稱,中芯國際已獲得部分美國設備廠商供應14nm及以上成熟制程設備的供應許可,并且中芯國際之前一直有申請但未獲通過的一類關鍵設備(用于14nm),此次也獲得了通過,

隨后在3月3日晚間,中芯國際還通過港交所發布公告,宣布公司已于2021年2月1日,就購買用于生產晶圓的ASML產品與ASML上海公司簽訂了經修訂和重述的采購協議,根據購買的ASML產品定價計算,該協議購買ASML產品的總代價約為12億美元。而根據隨后ASML的公告,此次采購協議主要為DUV相關產品,

需要指出的是,DUV光刻機雖然不如EUV光刻機先進,但是其也能夠被用于7nm制程的半導體芯片的生產,這或許也正是美議員要求阻止ASML出售深DUV光刻機賣給中芯國際的一大因素,

同時,美議員的信函中還要求將已被列入“實體清單”內的中芯國際,同華為一樣,納入去年8月所修訂的“外國制造直接產品規則”,以確保中芯國際無法從世界任何地方獲得關鍵半導體制造設備,

去年8月17日,美國第二次升級了針對華為的禁令,要求:

1)如果美國軟體或技術是外國生產物品的基礎,該物品將被納入或將用于“生產”或“開發”生產、購買的任何“零件”、“組件”或“設備”,或由實體列表上的任何華為實體訂購;

2)如果實體清單中的任何華為實體是該交易的當事方,例如“購買者”,“中間收貨人”,“最終收貨人”或“最終用戶”,

如果美國后續真的對中芯國際的制裁進一步升級,納入該限制規則的范圍,那么這將意味著中芯國際不僅將無法繼續獲得美國生產的“零件”、“組件”或“設備”,同樣其他國家的半導體設備廠商(比如ASML)可能也將無法向中芯國際供應基于美國軟體或技術來開發或生產的“零件”、“組件”或“設備”,除非獲得美國的許可證,那么中芯國際無疑將陷入巨大的危機。

雖然ASML是荷蘭公司,但是其光刻機當中的一些關鍵器件也是來自于美國,比如美國Cymer公司(2012年底被ASML收購)正是ASML的光刻機的主要的光源供應商,因此,如果美國將中芯國際與華為一樣都納入去年8月所修訂的“外國制造直接產品規則”,那么中芯國際采購ASML的光刻機也將遇阻,

不過,從目前拜登政府的態度來看,既然之前美國半導體設備廠商出口中芯國際的成熟制程所需的部分半導體設備能夠成功獲批,那么應該不會又突然進一步升級對中芯國際的制裁。

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