作為半導體制造中的核心設備,光刻機無疑是芯片產業皇冠上的明珠,特別是先進工藝的光刻機,7nm以下的都要依賴ASML公司,EUV光刻機他們還是獨一份,
日前在上海的第三屆進出口博覽會上,ASML全球副總裁、大陸區總裁沈波在采訪中表示,他們對進博會開放、合作的理念很認同,這也是ASML公司長期以來支持行業和客戶發展的信念,
沈波透漏,ASML與大陸的淵源極深,最早一臺光刻機是于1988年進入大陸,迄今已經32年了。
2000年ASML還在天津正式成立了分公司,目前已在大陸設有12個辦公室,11個倉儲物流中心,2處開發中心,1個培訓中心,共擁有1000多名員工,
根據沈波的訊息,這么多年來他們已經為大陸大陸地區的半導體客戶累積提供了700多臺裝機。
隨著大陸半導體行業的發展,大陸客戶購買的光刻機等產品也越來越多,根據ASML的財報,今年Q2、Q3季度中,公司發往大陸地區的光刻機占了全球銷量的20%。
在這次進博會上,ASML此次也帶來了其整體光刻解決方案,包括先進控制能力的光刻機臺計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術,讓邊緣定位精度不斷提高,目前的DUV光刻機可以制造7nm及以上工藝的半導體芯片。