由于大陸客戶需求的激增，臺積電在大陸工廠產能也是爆發，
據大陸臺灣媒體報道，半導體巨頭臺積電南京廠目前月產能已達成原定2萬片目標，而之前依計劃擴增南京廠產能，今年月產能已由1.5萬片擴增至2萬片，制程技術以12nm及16nm為主，
此前有消息稱，臺積電決定啟動南京廠第2期擴建，并以28nm制程為主，對于這個消息，臺積電表示，目前南京廠尚無進一步擴產具體計劃，
臺積電財報顯示，臺積電南京廠去年即轉虧為盈，全年獲利新臺幣12.89億元（約合人民幣 2.97 億元），隨著產能規模擴大，今年前3季獲利擴增至新臺幣91.29億元（約合人民幣21億元），
此前還有媒體報道稱，為了保持領先，臺積電已經下單訂購了至少13臺ASML的Twinscan NXE EUV光刻機，將會在2021年全年交付，不過具體的交付和安裝時間表尚不清楚。同時，明年臺積電實際需求的數量可能是高達16到17臺EUV光刻機，
目前，臺積電使用ASML的Twinscan NXE EUV光刻機在其N7+以及N5節點上制造芯片，但在未來幾個季度，該公司將增加N6（實際上將在2020年第四季度或2021年第一季度進入HVM）以及同樣具有EUV層的N5P工藝。臺積電對EUV工具的需求正在增加是因為其技術越來越復雜，更多地方需要使用極紫外光刻工具處理。臺積電的N7+使用EUV來處理最多4層，以減少制造高度復雜的電路時多圖案技術的使用。
