目前，EUV光刻機的部署安裝主要在臺積電、三星的晶圓代工廠，不過，內存廠商們也開始著手上馬了。
此前，SK海力士規劃的是為年底建成的M16工廠配備，但來自德國CB的消息稱，M14老廠也會引進，
EUV光刻機參與的將是SK海力士的第四代（1a nm）內存，在內存業內，目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a，
EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，并提高性能，
當然，EUV光刻機實在是香餑餑。唯一的制造商ASML（荷蘭阿斯麥）產能極有限，盡管一臺要10億元左右，可仍舊供不應求，這一回新老工廠其上位，不知道SK海力士從ASML那里敲定了多少臺。
另外，本次報道稱，三星2021年將投產EUV工藝生產的內存，也就是早些時候發布的16Gb容量LPDDR5，
