對于主攻代工芯片的臺積電來說，擁有越多先進的光刻機，優勢就越大，當然訂單也就越多，
根據臺灣地區媒體的消息，臺積電目前已采購35臺EUV 設備，占ASML過半產量，2021年底采購總量將超過50臺，
之前就消息稱，臺積電已經下單訂購了至少13臺ASML的Twinscan NXE EUV光刻機，將會在2021年全年交付，明年臺積電實際需求的數量可能是高達16到17臺EUV光刻機。
相較之下，三星EUV設備采購量目前不到20臺。
根據ASML的官方數據，2018年至2019年，每月產能約4.5萬片晶圓（WSPM），一個EUV層需要一臺Twinscan NXE光刻機，隨著工具生產效率的提高，WSPM的數量也在增長。如果要為一個準備使用N3或更先進節點制造工藝的GigaFab（產能高于每月10萬片）配備設備，臺積電在該晶圓廠至少需要40臺EUV光刻設備，
未來幾年全球對EUV光刻機的需求只會增加，但從目前的情況來看，在未來一段時間內，臺積電仍將是這些光刻設備的主要采購者，三星和Intel將緊隨其后。
